PFC系列制冷剂有哪些？

PFC系列制冷剂：PFC-14、PFC-116、PFC-218

1、PFC-14制冷剂（四氟甲烷）

四氟甲烷（Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane），亦称四氟化碳，PFC-14（R-14）。分子式：CF4。相对分子量：88.00。在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密度（-130℃）1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74MPa，蒸气压（-150.7℃）13.33kPa，介电常数（25℃，0.5MPa）1.0006。

挥发性较高，是稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1MPA下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。

主要用途：四氟甲烷是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

包装运输四氟甲烷对金属、合金不腐蚀，可用无缝钢瓶和铝合金容器装运，充瓶压力通常低于12.5MPa，按压缩气体运输，钢瓶每五年检验一次，国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输，国内目前无规定。钢瓶包装（14MPA）（DOT-3AA GB-5099），阀门（CGA-580/590，QF-2），32kg/48.8L，30kg/43.3L ，5kg/8L，2.5kg/4L。

2、PFC-116制冷剂（六氟乙烷，全氟乙烷）

无色、无毒、无腐蚀性、不燃烧的极其稳定的液化气体。分子量：138.01，临界温度：68°F，临界压力：432 Psia，沸点：-108.8°F（-78.2℃） @1 atm，危险：加热产生有毒副产品，CAS No.：76-16-4，比重（Air=1）：3.8，气体密度：0.361lb/ cf @NTP。

主要用途：六氟乙烷主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂，也常用于超低温配混制冷剂的一种组份。产品包装40kg/瓶，高压钢瓶包装。安全须知六氟乙烷是一种不燃烧、无色、无味的瓶装液化压缩气体，压力为其蒸气压418 psig at70°F。当其含量增加至氧气含量低于19.5%导致窒息。接触液体会引起冻伤。避免呼吸气体。在救护工作中需配备自吸式防毒面具。

3、PFC-218制冷剂（八氟丙烷，全氟丙烷）

八氟丙烷，别名：全氟丙烷， 分子式：C3F8，英文名：octafluoropropane， perfluoropropane， Halocarbon218。无色，不可燃气体。常温下是低压液化气体。化学性质不活泼，热稳定性好，与玻璃、硅钢、软钢在280℃接触6个月以上既不腐蚀，也几乎不分解。在处理八氟丙烷过程中，可按无毒气体处理，但其与可燃气体一起燃烧时分解产生有毒的氟化物。

主要用途：应用于微电子工业中等离子蚀刻，以及器件表面清洗，碳同位素分离工质、低温制冷，医疗用气、气体绝缘等。包装及贮运八氟丙烷对金属和合金不腐蚀，可用钢和合金容器装运，按低压液化气体运愉，对气瓶每五年检验1次。国外规定可以用汽车，火车、轮船和飞机运输，国内目前尚无规定。毒性与防护可视作无毒气体，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒氟化物。发现中毒时，应立即将受害者转移到无污染区，必要时施以人工呼吸，并及时请医生医治。

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