PFC系列制冷剂有哪些?
PFC系列制冷剂:PFC-14、PFC-116、PFC-218
1、PFC-14制冷剂(四氟甲烷)
四氟甲烷(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane),亦称四氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。相对分子量:88.00。在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74MPa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5MPa)1.0006。
挥发性较高,是稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1MPA下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。
主要用途:四氟甲烷是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
包装运输四氟甲烷对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5MPa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。钢瓶包装(14MPA)(DOT-3AA GB-5099),阀门(CGA-580/590,QF-2),32kg/48.8L,30kg/43.3L ,5kg/8L,2.5kg/4L。
2、PFC-116制冷剂(六氟乙烷,全氟乙烷)
无色、无毒、无腐蚀性、不燃烧的极其稳定的液化气体。分子量:138.01,临界温度:68°F,临界压力:432 Psia,沸点:-108.8°F(-78.2℃) @1 atm,危险:加热产生有毒副产品,CAS No.:76-16-4,比重(Air=1):3.8,气体密度:0.361lb/ cf @NTP。
主要用途:六氟乙烷主要用作气体电介质和制造集成电路的干腐蚀剂,也常用于超低温配混制冷剂的一种组份。产品包装40kg/瓶,高压钢瓶包装。安全须知六氟乙烷是一种不燃烧、无色、无味的瓶装液化压缩气体,压力为其蒸气压418 psig at70°F。当其含量增加至氧气含量低于19.5%导致窒息。接触液体会引起冻伤。避免呼吸气体。在救护工作中需配备自吸式防毒面具。
3、PFC-218制冷剂(八氟丙烷,全氟丙烷)
八氟丙烷,别名:全氟丙烷, 分子式:C3F8,英文名:octafluoropropane, perfluoropropane, Halocarbon218。无色,不可燃气体。常温下是低压液化气体。化学性质不活泼,热稳定性好,与玻璃、硅钢、软钢在280℃接触6个月以上既不腐蚀,也几乎不分解。在处理八氟丙烷过程中,可按无毒气体处理,但其与可燃气体一起燃烧时分解产生有毒的氟化物。
主要用途:应用于微电子工业中等离子蚀刻,以及器件表面清洗,碳同位素分离工质、低温制冷,医疗用气、气体绝缘等。包装及贮运八氟丙烷对金属和合金不腐蚀,可用钢和合金容器装运,按低压液化气体运愉,对气瓶每五年检验1次。国外规定可以用汽车,火车、轮船和飞机运输,国内目前尚无规定。毒性与防护可视作无毒气体,但与可燃气体一同燃烧时,分解产生有毒氟化物。发现中毒时,应立即将受害者转移到无污染区,必要时施以人工呼吸,并及时请医生医治。